Dit type actuator maakt gebruik van piëzo-elektrische principes. In deze actuatoren is er een kristal aanwezig dat, ofwel door middel van spanning een beweging opwekt, ofwel door middel van druk een spanning. Voor het gebruik in een actuator wordt meestal het omvormen van spanning naar trilling gebruikt. De trilling die het kristal veroorzaakt kan vervolgens worden gebruikt om een kleine beweging te creëren (keramische luidspreker).
Een voorbeeld van gebruik van deze actuatoren is te vinden bij gebruik van geheugenmetaal actuatoren. Het geheugenmetaal kan worden gebruikt om bijvoorbeeld aders in het menselijk lichaam te verbreden. Er kan in dit geval gebruik worden gemaakt van de warmte van het lichaam om de actuator met het metaal te activeren.
Deze actuatoren werken op basis van een elektromagneet. Door een elektrische stroom door een spoel te sturen ontstaat een magnetisch veld die een kracht uitoefent waardoor een ijzeren pen de spoel in getrokken wordt.
Voorbeelden zijn een relais, een luidspreker, een lees- en schrijfkop van een harde schijf en een Servomotor.
Bij deze soort wordt er een vloeistof gebruikt dat vervolgens door middel van, meestal, druk bijvoorbeeld een voorwerp kan verplaatsen. Er zijn twee manieren om deze actuatoren op te bouwen: